電火花線切割加工是用連續移動的電極絲作為工具電極與工件之間產生火花放電腐蝕工件，進行切割加工。在火花放電時，金屬材料被蝕除下來，這一微觀的物理過程也就是電火花加工的物理本質，從大量實驗資料來看，每次電火花腐蝕的微觀過程都是電場力、磁力、熱力、流體動力、電化學和膠體化學等綜合作用的過程。在加上高頻脈沖電源后，工件（接高頻脈沖電源的正極）與電極絲（接高頻脈沖電源的負極）之間產生很強的脈沖電場，使極間的介質的被電離擊穿，形成放電通道，產生脈沖放電；極間介質一旦被電離、擊穿，形成放電通道后，脈沖電源使通道間的電子高速奔向正極。電能變成動能，動能通過碰撞又轉變為熱能。于是在通道內正極和負極表面達到很高的溫度。高溫將工作液介質氣化，進而熱裂分解氣化，如水基工作液熱分解為氫氣和氧氣甚至原子等。正負極表面的高溫除使工作液氣化、熱分解氣化外，也使金屬材料熔化甚至沸騰氣化。這些氣化后的工作液和金屬蒸氣瞬間體積猛增，在放電間隙內成為氣泡，迅速熱膨脹并產生爆炸。觀察電火花線切割加工過程可以看到氣泡冒出，同時有黑色的工作液流出，并可聽到輕微而清脆的爆炸聲。電火花線切割加工主要靠熱膨脹和局部微爆炸，使熔化、氣化了的金屬材料拋出蝕除。